中科院成功研制出MEMS傳感器新品
中國科學(xué)院電子學(xué)研究所傳感技術(shù)國家重點實驗室夏善紅研究員團隊經(jīng)過十余年的深入研究,成功研制出基于MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)的電場傳感器系列創(chuàng)新產(chǎn)品,包括地面大氣電場傳感器、探空大氣電場傳感器、三維電場傳感器,以及面向智能電網(wǎng)應(yīng)用的電場傳感器,于2013年9月通過了產(chǎn)品設(shè)計定型鑒定,已實現(xiàn)小批量生產(chǎn)和應(yīng)用。
該系列產(chǎn)品的特點有體積小,空間分辨率高,功耗低;無電機磨損部件,穩(wěn)定性好,可靠性高;可同時測量靜電場和交變電場;可用于單點電場探測或區(qū)域多點無線組網(wǎng)電場探測。
產(chǎn)品已在航空航天、智能電網(wǎng)、氣象等多個領(lǐng)域的二十余家單位使用,受到用戶的*。
據(jù)業(yè)內(nèi)預(yù)測,隨著電子制造業(yè)繼續(xù)向中國轉(zhuǎn)移,預(yù)計2013年至2015年,中國MEMS市場將繼續(xù)保持兩位數(shù)增長,到2016年,中國MEMS市場銷售額預(yù)計將超過350億元。
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